制程良率超9999% 海目星激光打通Micro LED激光制程工艺

  未来，在通明、柔性、车载、超高清大屏幕、全息投影等范畴，Micro LED均具有宽广的商场运用远景。

  12月7日下午-12月8日，由高工LED、高工工业研讨院（GGII）主办，东山精细总冠名的以“微显剧变，再现光辉”为主题的2023高工LED年会暨十五周年庆典在深圳机场凯悦酒店盛大举行。

  作为一年一度的LED职业盛会，本次年会共设4大专场，分别由明微电子、兆元光电、凯格精机、诺瓦星云冠名，议题掩盖芯片、封装、照明、显现、设备、驱动等LED全工业链，超500位企业首领、职业专家、出资精英参与，研判技能道路日下午，

  中心总经理彭信翰宣布了主题为《打通Micro LED激光制程工艺》的讲演，首要从“新式显现职业配备项目的未来”，“激光巨量搬运技能”，“巨量搬运技能发展与未来”等方向与参会嘉宾打开共享。新式技能的革新之路总是充溢应战，Micro LED技能也是如此。

  确实，Micro LED显现面板的制作工序较多，其间Micro LED巨量搬运、巨量焊接及巨量修正是Micro LED显现屏的必备制程，激光技能及其配备是Micro LED显现面板工业的要害中心配备，相较于本来

  制程配备大部分仰赖进口，Micro LED制程国产化配备有望领跑世界。就激光巨量搬运设备来说，首要运用在于Micro LED巨量搬运和单点修正制程，可完结对恣意尺度恣意距离RGB芯片挑选性搬运，在修正段用于芯片单点搬运。

  等特色，且在可挑选性搬运方面有较大优势。现在，Micro LED巨量搬运技能首要有两大技能道路，分别为透过Mask挑选性搬运和操控激光束搬运。其间，操控激光束搬运是当时的干流技能道路，海目星激光通过这一技能道路推出

  泵浦固体(DPSS)激光器，现在现已完结搬运像素密度超600PPI,制程良率已达99.99%以上，搬运基板尺度超越11”，到达世界领先水平，可完结巨量搬运+搬运修正+面板修正。二极管泵浦固体(DPSS)激光器运用于Micro LED巨量键合制程，调配高精度温控激光器、快速视觉对位与演

  完结本运用。本制程为运用光斑整形后的线型光斑，将预先排列于玻璃上的LED以线扫方法，通过吸收激光之能量后完结巨量焊接的工艺。就工艺作用而言，Micro LED巨量焊接设备在完结焊接后，透过目检可看到芯片对位精准，在点亮测验中可完结点亮与操控皆契合制程要求。

  焊接完结之后，面板屏上会存在一些缺点，这就需要做修正作业。为此，海目星还推出Micro LED Trimming设备，针对Micro LED制程中发生的缺点，进行胶层、芯片去除与焊盘修整，以利后续修补制程。

  彭信翰表明，该项技能将处理Micro LED显现面板无法完美修正的问题，并推进新式显现要害设备的国产自主化，下降出产所带来的本钱。当Micro LED制程难点得以处理，Micro LED运用迸发还有多远？降本成为要害！

  领先者，海目星激光凭仗强壮的研制实力和对商场的洞察力，敏捷在Micro LED设备范畴锋芒毕露，并成为推进Micro LED技能革新的要害力气。早在2017年，当大多数企业还在张望Micro LED商场的时分，海目星激光则敏锐地发觉到了这一新式商场的巨大潜力，并敏捷组成团队进行了深化调研、剖析、证明。

  通过长达4年的技能储备，2021年，海目星激光正式建立新式显现职业中心，竭尽全力进军Micro LED设备商场。不同于大多数设备企业挑选在Mini LED封装设备商场中分一杯羹，海目星挑选坚定地深耕Micro LED设备商场。

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